技術(shù)參數(shù)
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名稱 |
2000℃溫度可控型30KW感應(yīng)加熱爐--SP-50KTC |
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視頻 |
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感應(yīng)加熱器
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工作電壓：三相AC 380V，50Hz（需60A空氣開關(guān)）。 輸入功率：25KW。 震蕩頻率：30-80KHz。 循環(huán)比：80%。 感應(yīng)線圈：150mm(OD)×140mm（ID）×65mm（H）。 保護(hù)系統(tǒng)：帶有自動水壓、過熱、功率過高保護(hù)。 耐火材料：配有多塊采用氧化鋁制作的耐火材料，用于支撐石墨坩堝，和防止熱量輻射。 |
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溫度控制器&熱電偶
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工作電壓：AC 208~240V,單相。 采用PID方式控溫 ，可設(shè)置30段升降溫程序 設(shè)備帶有過熱和斷偶保護(hù)功能。 控溫精度±3℃。 采用C型熱電偶，探頭伸入石墨坩堝內(nèi)。 長期使用溫度：1900℃ 工作溫度: 2000℃。（<5小時） 升溫速率： 10℃/second(1000℃-1200℃)。 8℃/second(1200℃~1500℃)。 3℃~6℃/second (1500℃~2000℃)。 |
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石墨坩堝和耐火磚 |
高純石墨坩堝: 114 mmOD x 100 mm ID x 142mm Height 。 容量：樣品所占容積應(yīng)該是石墨坩堝容積的1/2。 可選:為對晶片熱處理，可定制石墨樣品臺，至多可放置晶片尺寸為1.5'' O.D x 1/8'' T，因為石墨導(dǎo)熱率非常高，所以可使放置的晶片受熱均勻。
保溫層：石墨坩堝外環(huán)繞三層隔熱材料，從里到外分別為石墨氈—氧化鋁—高溫氈，總厚度為32mm，石墨保溫毯（可耐溫2200℃）氧化鋁毯（耐溫1700℃）。 |
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密封法蘭&石英管 |
頂部法蘭: 采用不銹鋼折疊式法蘭，帶有一1/4＂的鎧裝接口（可插入熱電偶到石英管內(nèi)部更準(zhǔn)確地測量樣品溫度）法蘭上安裝有不銹鋼截止閥。 底部法蘭:底部法蘭接口為KF25接口，可通過波紋管與真空泵相連接。 石英管尺寸：130mm(OD) x 122mm(ID) x 360mm(L)。 儀器中配有KF25擋板閥和KF25*1000mm的波紋管，以便與真空泵相連接。
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防腐型真空計
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當(dāng)氣壓在10mbar以上時，不需因測量氣體種類不同而進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換，量程可到3.8x10E-5 torr |
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循環(huán)水冷機(jī)
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溫度范圍: 5 - 30℃ 水流速： 16L/min 水箱容積: 12 Liters 采用不銹鋼制作 水壓≥0.1MPa，流量≥5L/Min 注: 本公司建議使用專用的冷卻液作為冷卻介質(zhì) |
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真空泵
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儀器中配有一2L/S的雙極旋片機(jī)械泵，使管內(nèi)的真空度達(dá)到10e-2 torr。 工作電壓AC 208-240V, 單相。 |
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移動爐架 |
結(jié)構(gòu): 鋼框架結(jié)構(gòu)。 800mm×600mm的移動爐架可方便移動電感應(yīng)加熱器和帶有法蘭的石英管。 |
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注意 |
為了保護(hù)石墨坩堝和C型熱電偶，要不斷通入惰性氣體。 此設(shè)備可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD）系統(tǒng)，請點擊下面的圖片查看，如您有任何特殊需求可聯(lián)系我們。
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產(chǎn)品尺寸
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感應(yīng)加熱器:520mm x 520mm x 450mm 水冷機(jī)組: 460mm x 475mm x 762mm 移動爐架： 600mm(L) x 800mm(W) x 597mm(H) |
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質(zhì)保期 |
一年保質(zhì)期，終生維護(hù)（產(chǎn)品相關(guān)耗品不在保修范圍內(nèi)） |
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凈重 |
120kg |
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