GSL-1700X-III是一款CE認(rèn)證的三溫區(qū)高溫管式爐,其爐管外徑為 60mm ,每個加熱區(qū)的長度為12" ,三個數(shù)字溫度控制器可獨立控制溫度,并可設(shè)置30段升降溫程序,溫區(qū)1(加熱區(qū)中心)采用Super-1800級的硅鉬棒進(jìn)行加熱,當(dāng)溫度達(dá)到 1700°C時,另外兩個溫區(qū)用硅碳棒進(jìn)行加熱,當(dāng)溫度在1400°C時,此款管式爐可以形成一個溫度梯度,調(diào)整三個溫區(qū)的溫度,在熱梯度下制備功能材料,他是一款理想的設(shè)備,同時也適用于CVD法制作薄膜外延生長。
技術(shù)參數(shù)
名稱
1700℃三溫區(qū)管式爐--GSL-1700X-III
爐體結(jié)構(gòu)
采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使表面溫度低于70℃。
內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。
基本參數(shù)
熱偶:B型(溫區(qū)2)和S型(溫區(qū)1、3)熱偶。
工作溫度:
溫區(qū)一:長期1300℃ (1400℃<1h) 建議升溫速率:≤5℃/min。
溫區(qū)二:長期1600℃ (1700℃<1h) 建議升溫速率:5℃/min(T<1600℃);2℃/min(T>1600℃)
溫區(qū)三:長期1300℃ (1400℃<1h) 建議升溫速率:≤5℃/min
電源:三相AC380V,50Hz 10KW
加熱區(qū):加熱區(qū)長度:630(190mm+250mm+190mm)
爐管尺寸
材料:剛玉管。
Φ60×1200mm L
法蘭
1、法蘭上標(biāo)配安裝的是φ8的寶塔嘴接頭
2、為了獲得較好的抽氣速率可以配用KF25的轉(zhuǎn)接頭。
3、為了較好的向爐管中通入氣體可以配用1/4”的不銹鋼卡套接頭
加熱元件
溫區(qū)一:4根U型Sic加熱棒(30×300mm)。
溫區(qū)二:6根U型MoSi2加熱棒 (30×300mm)。
溫區(qū)三:4根U型Sic加熱棒 (30×300mm)。
密封法蘭
一對SS 304真空法蘭與雙高溫硅O形環(huán)包括在內(nèi)。
兩個針閥已分別安裝在兩個法蘭上(圖一)。
一個和怎空壓力表安裝在一側(cè)法蘭(圖一)。
可選:您可以選購KF25真空法蘭(圖二)。
可選:您可以訂購法蘭支架(圖三)。
溫控系統(tǒng)
包含一款YD518型溫度控制器。
PID自動控溫系統(tǒng)。
智能化30段可編程控制。
控溫精度:±℃。
三個溫區(qū)分別有三個獨立的溫控系統(tǒng)控制。
默認(rèn)DB9 PC通信連接端口。
通過MET認(rèn)證。
可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)。
溫度校準(zhǔn)(可選)
定期對管式爐進(jìn)行溫度校準(zhǔn),可保持溫度的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在我公司購買一個簡單的校準(zhǔn)工具包,輔助您完成這項工作,完整的校準(zhǔn)套件包括。
48”L(1/4”OD)K型熱電偶校準(zhǔn)。
一Omega溫度校準(zhǔn)器。
熱電偶補償線。
你可以考慮分子泵,真空度可達(dá)10-5torr
外形尺寸
1600 L×500 W×700 H mm
凈重
約150Kg
質(zhì)保期
一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:1、耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍。
真空系統(tǒng)
通過機械泵可達(dá)到10E-2torr
通過分子泵可達(dá)到10E-5torr
可選購一個冷真空阱,以避免真空泵造成污染。
質(zhì)量認(rèn)證
所有電器元件(>24V)都通過UL/CSA/CE認(rèn)證,若客戶出認(rèn)證費用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
使用注意事項
爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。
由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司購買減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa使用時會更加精確安全。
當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)。爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)。
進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。
剛玉管的長時間使用溫度<1100℃。
對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱的實驗,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)。
免責(zé)聲明
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